半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：
1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。
半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類：
1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃?xì)怏w：O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
可燃氣體檢測（報(bào)警）安全管理規(guī)定
1、報(bào)警器（探頭）的安裝率、使用率、完好率應(yīng)達(dá)到100%。
2、報(bào)警器（探頭）的功能、結(jié)構(gòu)、性能和質(zhì)量應(yīng)符合國家規(guī)定要求，達(dá)到安裝現(xiàn)場及現(xiàn)場檢測所要求的防爆等級(jí)。技術(shù)先進(jìn)，質(zhì)量穩(wěn)定，反應(yīng)靈敏，便于維修，受其它氣體的干擾小，受溫度、濕度影響小，符合國家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求。
3、安全管理部門，使用部門要認(rèn)真制定報(bào)警器（探頭）的管理、檢查、報(bào)廢、更新、停用及驗(yàn)收制度，定期檢驗(yàn)和標(biāo)定制度，維修保養(yǎng)和檢修制度。
4、崗位操作人員必須熟悉報(bào)警器（探頭）的性能、原理，并能熟練操作。
5、在報(bào)警器（探頭）使用和管理中，由于玩忽職守造成事故或損失的公司和個(gè)人，視其情節(jié)給予嚴(yán)肅處理。
6、建立報(bào)警器使用、校驗(yàn)和維修保養(yǎng)記錄，加強(qiáng)管理。
標(biāo)準(zhǔn)氣體的開發(fā)過程可分為四個(gè)部分：原料氣的純度分析；原料氣的純度分析。 通過稱量法或分壓法制備； 校準(zhǔn)分析方法，例如氣相色譜法和化學(xué)發(fā)光法； 性能檢查和包裝條件。
原料氣的純度分析原料氣的純度分析是一項(xiàng)基礎(chǔ)研究工作，它直接影響稱量方法的價(jià)值。 原料氣體的分析應(yīng)解決三個(gè)問題，即主體含量，稀釋氣體中要混合的組分的含量以及干擾要混合的組分的含量。 為了在氮?dú)庵兄苽?×106 mol / mol的標(biāo)準(zhǔn)氣體，為了確保1％的不確定性，要求高純度氮?dú)庵械暮啃∮?×10 mol / mol。 這個(gè)要求很嚴(yán)格。 這必然導(dǎo)致對氣體分析技術(shù)和凈化技術(shù)的研究。 因此，在標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備過程中，對分析技術(shù)和純化技術(shù)的要求很高。
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